ISO14644-1、GB50073-2001潔凈廠房標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范
ISO14644-1、GB50073-2001criterion standard of clean workshop
Class等級(jí)
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等級(jí)限制(Limited Class)
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0.1um
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0.2um
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0.3um
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0.5um
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1um
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5um
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(m3)
|
(m3)
|
(m3)
|
(m3)
|
(m3)
|
(m3)
|
1
|
10
|
2
|
/
|
/
|
/
|
/
|
2
|
100
|
24
|
10
|
4
|
/
|
/
|
3
|
1000
|
237
|
102
|
35
|
8
|
/
|
4
|
10000
|
2370
|
1020
|
352
|
83
|
/
|
5
|
100000
|
23700
|
10020
|
3520
|
832
|
29
|
6
|
1000000
|
237000
|
102000
|
35200
|
8320
|
293
|
7
|
/
|
/
|
/
|
352000
|
83200
|
2930
|
8
|
/
|
/
|
/
|
3520000
|
832000
|
29300
|
9
|
/
|
/
|
/
|
35200000
|
8320000
|
293000
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注:1.每個(gè)采點(diǎn)應(yīng)至少采樣3次;
2.本標(biāo)準(zhǔn)不舍用于表征懸浮粒子的物理性,化學(xué)性、放射性及生命性;
3.根據(jù)工藝要求確點(diǎn)1至2種粒徑;
4.各種要求粒徑D的粒子大允許濃度Cn由公式確定,要求的粒徑在0.1~5um范圍,包括0.1um及5um。
Cn=10NX(0.1/D)2.08
式中:Cn——大于或等于要求粒徑的粒子允許濃度(pc/m3)。Cn是以四舍五入到相近的整數(shù),有效位數(shù)不超過三位數(shù)。
N——沽浄度等扱, 敷字不超出9、 潔凈度等級(jí)整數(shù)之間的中間數(shù)可以按0.1為允許遞增量。
D——要求的粒徑(um)。
0.1——常數(shù),其量綱為um。
美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)
(FS209E)America federation standard (FS209E)
等級(jí)(Class)
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粒徑(um)diameter of dust(um)
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01.
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0.1
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0.2
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0.3
|
0.5
|
50
|
1
|
35
|
35
|
7.5
|
3
|
1
|
/
|
10
|
350
|
350
|
75
|
30
|
10
|
/
|
100
|
/
|
/
|
750
|
300
|
100
|
/
|
1000
|
/
|
/
|
/
|
/
|
1000
|
7
|
10000
|
/
|
/
|
/
|
/
|
10000
|
70
|
100000
|
/
|
/
|
/
|
/
|
100000
|
700
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各行業(yè)潔凈等級(jí)分類
行業(yè)分類
|
潔凈度
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級(jí)別
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01.μm級(jí)
|
1.000
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10.000
|
100.000
|
|
|
0.5μm級(jí)
|
10
|
100
|
1.000
|
10.000
|
100.000
|
用途
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半導(dǎo)體工業(yè)
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拉單晶
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/
|
|
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|
擴(kuò)散
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|
/
|
|
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腐蝕、光刻、表面處理、金屬蒸發(fā)
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/
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組裝試驗(yàn)
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/
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原料
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/
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研磨
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/
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/
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包裝
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半成品儲(chǔ)藏
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/
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激光工業(yè)
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氣體激光
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/
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固體激光
|
/
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半導(dǎo)體激光、激光手術(shù)刀
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/
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光學(xué)儀器
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鏡片研磨
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/
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刻標(biāo)
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/
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醫(yī)用照相機(jī)加工、裝配、鏡頭組裝
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/
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膠片制造、干燥
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/
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縮微膠片、顯像、干燥
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/
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組裝
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/
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|
涂漆、試驗(yàn)、檢查
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/
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計(jì)時(shí)·精密儀器
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電子表、零件組裝、火箭零件加工組裝
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/
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人造衛(wèi)星控制裝置
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/
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高可靠性部件裝置
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/
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微型軸承
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/
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普通軸承
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/
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組裝,檢查
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/
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電子計(jì)算器
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磁鼓、磁帶、磁盤
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/
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|
加工、組裝、試驗(yàn)、檢查
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/
|
電子機(jī)械、電子式計(jì)算測(cè)試
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顯像管
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/
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/
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|
高可靠管、光導(dǎo)攝像管
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/
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印制板
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/
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小型續(xù)電器
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/
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精密電器儀表
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/
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零件、加工、組裝、檢查
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/
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藥品·醫(yī)學(xué)·醫(yī)院
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制藥工序
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/
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注射液·安瓶封瓶
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/
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注射·林格氏液·疫苗貯存
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/
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無菌手術(shù)室
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/
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一般手術(shù)室、恢復(fù)室、LCU、CCU
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/
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無菌病房
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/
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新生嬰·早產(chǎn)嬰兒室
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/
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無菌房、手術(shù)機(jī)械保管室、無菌動(dòng)物實(shí)驗(yàn)、細(xì)菌實(shí)驗(yàn)
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/
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藥劑室
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/
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一般病房、診療室
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/
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食品釀造
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牛奶、酒、乳酸菌飲料
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/
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清涼飲料的瓶裝,封口
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/
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乳制品、糕點(diǎn)包裝
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火腿片制造、蘑菇種植
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肉食加工
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/
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