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潔凈室系統(tǒng)-無錫上江凈化設(shè)備有限公司
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ISO14644-1、GB50073-2001潔凈廠房標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范
ISO14644-1、GB50073-2001criterion standard of clean workshop

Class等級(jí) 等級(jí)限制(Limited Class)
0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 1um 5um
(m3) (m3) (m3) (m3) (m3) (m3)
1 10 2 / / / /
2 100 24 10 4 / /
3 1000 237 102 35 8 /
4 10000 2370 1020 352 83 /
5 100000 23700 10020 3520 832 29
6 1000000 237000 102000 35200 8320 293
7 / / / 352000 83200 2930
8 / / / 3520000 832000 29300
9 / / / 35200000 8320000 293000

注:1.每個(gè)采點(diǎn)應(yīng)至少采樣3次;
2.本標(biāo)準(zhǔn)不舍用于表征懸浮粒子的物理性,化學(xué)性、放射性及生命性;
3.根據(jù)工藝要求確點(diǎn)1至2種粒徑;
4.各種要求粒徑D的粒子大允許濃度Cn由公式確定,要求的粒徑在0.1~5um范圍,包括0.1um及5um。

Cn=10NX(0.1/D)2.08

式中:Cn——大于或等于要求粒徑的粒子允許濃度(pc/m3)。Cn是以四舍五入到相近的整數(shù),有效位數(shù)不超過三位數(shù)。
N——沽浄度等扱, 敷字不超出9、 潔凈度等級(jí)整數(shù)之間的中間數(shù)可以按0.1為允許遞增量。
D——要求的粒徑(um)。
0.1——常數(shù),其量綱為um。

美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)
(FS209E)America federation standard (FS209E)

等級(jí)(Class) 粒徑(um)diameter of dust(um)
01. 0.1 0.2 0.3 0.5 50
1 35 35 7.5 3 1 /
10 350 350 75 30 10 /
100 / / 750 300 100 /
1000 / / / / 1000 7
10000 / / / / 10000 70
100000 / / / / 100000 700

各行業(yè)潔凈等級(jí)分類

行業(yè)分類 潔凈度 級(jí)別
01.μm級(jí) 1.000 10.000 100.000
0.5μm級(jí) 10 100 1.000 10.000 100.000
用途
半導(dǎo)體工業(yè) 拉單晶 /
擴(kuò)散 /
腐蝕、光刻、表面處理、金屬蒸發(fā) /
組裝試驗(yàn) /
原料 /
研磨 / /
包裝
半成品儲(chǔ)藏 /
激光工業(yè) 氣體激光 /
固體激光 /
半導(dǎo)體激光、激光手術(shù)刀 /
光學(xué)儀器 鏡片研磨 /
刻標(biāo) /
醫(yī)用照相機(jī)加工、裝配、鏡頭組裝 /
膠片制造、干燥 /
縮微膠片、顯像、干燥 /
組裝 /
涂漆、試驗(yàn)、檢查 /
計(jì)時(shí)·精密儀器 電子表、零件組裝、火箭零件加工組裝 /
人造衛(wèi)星控制裝置 /
高可靠性部件裝置 /
微型軸承 /
普通軸承 /
組裝,檢查 /
電子計(jì)算器 磁鼓、磁帶、磁盤 /
加工、組裝、試驗(yàn)、檢查 /
電子機(jī)械、電子式計(jì)算測(cè)試 顯像管 / /
高可靠管、光導(dǎo)攝像管 /
印制板 /
小型續(xù)電器 /
精密電器儀表 /
零件、加工、組裝、檢查 /
藥品·醫(yī)學(xué)·醫(yī)院 制藥工序 /
注射液·安瓶封瓶 /
注射·林格氏液·疫苗貯存 /
無菌手術(shù)室 /
一般手術(shù)室、恢復(fù)室、LCU、CCU /
無菌病房 /
新生嬰·早產(chǎn)嬰兒室 /
無菌房、手術(shù)機(jī)械保管室、無菌動(dòng)物實(shí)驗(yàn)、細(xì)菌實(shí)驗(yàn) /
藥劑室 /
一般病房、診療室 /
食品釀造 牛奶、酒、乳酸菌飲料 /
清涼飲料的瓶裝,封口 /
乳制品、糕點(diǎn)包裝 /
火腿片制造、蘑菇種植 /
肉食加工 /